地 址：武汉东湖开发区光谷电子工业园2期5栋
电 话：027-86698905
q q：512703577
邮 箱：yangchao@whesun.com
联系人：杨经理
手 机：18062112548
网 址：http://www.whesun.com
行业应用：
LED、半导体、PCB、医疗、微电子、生命科学等。
主要功能：
表面清洗、去污
表面活化（改性）
表面粗化
| 设备型号 | P200- I | P200-II | P800 |
| 外形尺寸 | 720（L）*480（H）*580（W） | 720（L）*480（H）*580（W） | 1000（L）*2050（H）*1200（W） |
| 腔室材料 | 不锈钢 | 高硼硅玻璃/石英玻璃 | 不锈钢 |
| 腔室形状 | 方形腔室 | 圆形 | 方形腔室 |
| 腔内尺寸 | 200（L）*250（H）*200（W） | φ170 X 300 | 550（L）*800（H）*550（W） |
| 等离子电源功率 | 0-300 W | 0-300W | 0-600W |
| 等离子电源频率 | 40KHz | 13.56MHz | 13.56 MHz |
| 控制界面 | 7寸触摸屏 | 7寸触摸屏 | 7寸触摸屏 |
| 进气气路 | 1 路MFC | 2路MFC | 2路MFC |
| 真空计 | 莱宝/英福康 | 莱宝/英福康 | 莱宝/英福康 |
| 真空泵 | 双极旋片泵 | 双极旋片泵 | 双极旋片泵 |
| 极限真空 | ≤1Pa | ≤1Pa | ≤1Pa |
| 本底真空 | 5Pa-20Pa | 5Pa-20Pa | 5Pa-20Pa |
| 选配 | 1、真空泵可选配；2、中频/射频电源可选配；3、接受非标定制。 | ||
| 上一条：没有了！ 下一条：没有了！ |  |
